辰軒半導體設備（江蘇）有限公司
Suzhou Chenxuan Photoelectricity Technology Co.,Ltd.
專注減薄與拋光 爭做半導體設備制造引導者 公司以減薄、研磨和拋光技術為工藝核心，自主研發了針對半導體材料磨、拋加工的整線設備，包括：半/全自動單軸減薄機、全自動雙軸減薄機、半/全自動貼片機、單面研磨機、單面拋光機、單/雙面刷洗機、量測設備等。產品廣泛應用于化合物半導體襯底、藍寶石襯底、光學玻璃、水晶、陶瓷、芯片、器件、封裝、MEMS等行業。
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全自動單軸減薄機
? ? ? ?全自動單軸減薄機由機械手、承片工作臺、清洗單元等單體組成，通過承片工作臺和砂輪軸的旋轉，同時砂輪軸向下進給，對承片工作臺上的產品進行磨削加工，加工過程中使用在線厚度測量，控制產品厚度直至達到設定的目標厚度。
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全自動雙軸減薄機FG系列
? ? ? ?全自動雙軸減薄機由晶圓機械手、2個承片工作臺、2個砂輪軸、清洗單元等單體組成，通過承片工作臺和砂輪軸的旋轉，同時砂輪軸向下進給，對承片工作臺上的產品進行磨削加工，加工過程中使用在線厚度測量，控制產品厚度直至設定的目標厚度。
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全自動雙軸減薄機FSG系列
? ? ? ?全自動雙軸減薄機由晶圓機械手、3個承片工作臺、2個砂輪軸、清洗單元等單體組成，通過承片工作臺和砂輪軸的旋轉，同時砂輪軸向下進給，對承片工作臺上的產品進行磨削加工，加工過程中使用在線厚度測量，控制產品厚度直至設定的目標厚度。且承片工作臺可以在加工過程中自動調節加工角度，修整目標產品的形狀。
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單面拋光機910/1300/1450
? ? ? ?單面拋光機由拋光盤、上壓頭、拋光液供應系統等單體組成，通過上壓頭給產品施加壓力，同時通過拋光盤和上壓頭的旋轉對產品進行加工，以達到需求的平面度和光潔度。
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陶瓷盤清洗貼片一體機
? ? ? ?陶瓷盤豎直清洗，可減少設備占地面積。
? ? ? ?采用超聲波清洗，可較大限度避免損傷、磕碰陶瓷盤。
? ? ? ?自動上/下料系統以及8片容量的陶瓷盤推車，可減少人工，提高效率。
? ? ? ?搬移機械手單獨上下移動，可增強陶瓷盤清洗效果。
? ? ? ?陶瓷盤清洗結束后可直接翻轉，通過轉接機構，可與兩臺貼蠟機進行對接，自動完成涂蠟、甩蠟、貼片、冷卻的貼蠟工序。
? ? ? ?可一拖一或一拖二選配。
? ? ? ?晶片貼片前清洗，陶瓷盤清洗有效降低貼片過程中的氣泡、黑點污染，提高貼片良品率。
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全自動單/雙面刷洗機
? ? ? ?全自動單/雙面刷洗機由Loading、Unloading、晶圓機械手、刷洗、甩干單元等單體組成，通過晶圓機械手將晶片由Loading單元轉移到刷洗工位，通過毛刷對晶片表面進行藥液、二流體、純水刷洗，清除晶片表面的微小粒子。
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